Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах
Электронная книга
- Автор: Коллектив авторов
- Издатель: ФГУП «Издательство СО РАН»
- Год: 2011
- ISBN: 978-5-7692-0669-6, 978-5-7692-1183-6
- Цена: 299 Руб.
Сила в знании, и книга - фундаментальный источник познаний. И это ещё не всё! И вот отменный эталон того рода литературы, что помогает выработать рациональный взгляд на мир и на себя самого, открывая новые пути для самосовершенствования и изменения окружающего мира - "Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах"
Монография посвящена синтезу, атомной, электронной структуре, механизмам переноса заряда и применению диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах флэш-памяти. Рассматриваются наиболее важные и перспективные диэлектрики Al 2 O 3 , HfO 2 , Ta 2 O 5 , ZrO 2 , TiO 2 , твердые растворы (HfO 2 ) x (Al 2 O 3 ) 1 – x . Анализируется также электронная структура трех традиционных ключевых диэлектриков в кремниевых приборах: оксида SiO 2 , оксинитрида SiO x N y и нитрида Si 3 N 4 кремния. Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся физикой твердого тела и микроэлектроникой.
Смеем надеяться, что "Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах" окажет вам помощь в познании данной области, даст пищу для ума и поможет в решении специфических проблем.