Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Электронная книга
- Автор: А. И. Мочалов
- Издатель:
- Год: 2012
- ISBN: 978-5-9963-0915-3
- Цена: 242 Руб.
Велика сила знания, и книга - основной источник мудрости. И путеводная нить. И вот потрясающий образец такой литературы, что дарит новые сведения из разнообразных областей, способствует расширению кругозора и ведёт вас по жизни верным путём - "Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие"
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Выражаем надежду, что "Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие" принесёт вам пользу и удовлетворение от чтения.