Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 2
Электронная книга
- Автор: М. А. Королев
- Издатель:
- Год: 2012
- ISBN: 978-5-9963-0913-9, 978-5-94774-583-2
- Цена: 253 Руб.
Могущество в знании, и книга - лучший кладезь знания. Но не только... И вот отличный образчик такой работы, что дает новые сведения из разных областей, помогает расширять кругозор, да еще и по жизни оказывается полезной - "Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 2"
Часть вторая. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования. Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
Надеемся, что "Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 2" окажется полезной и интересной.